SE激光掺杂

时间:2021-03-29   访问量:3337

该工艺利用PSG层,使用激光对电池片进行SE掺杂,显著增加电极的导电性。针对这个工艺,我们把激光光斑整形后变为平顶方形光斑,使其能量分布均匀,适合PSG的SE掺杂的应用。

工艺特征

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