产品特点

• IR激光切割晶圆，晶圆背对准或者正面对准

• 300mm/s高速切割，每片约2-3分钟

• 配置有在线检测功能，检测激光切割效果和精度

• 背切或者正切割晶圆

• 晶圆堆叠上下料

产品简介

• 产率2-3min/片，切割素的300mm/s

• 切割口宽度：25um

• 在线检测功能，检测激光切割效果和切割精度

• 背切或者正切割跪晶圆，IR波长国产或者进口激光

• 晶圆堆叠上料

• 除尘带过滤器，接尾气负压管道外排

  自主研发的激光聚焦物镜可以把激光聚焦到很小的光斑，使得激光切割刀口宽度主要25um左右，切割截面呈现“V"字形，降低了裂片时所需要的力量。